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電化學氣體傳感器 半導體行業制程氣體監控
4系列CO傳感器
100ppm
051-6000-000
4SM CO-100
4系列
0.1ppm
15s

4系列TEOS傳感器
50ppm
085-6000-000
4SM TEOS-50
4系列
0.1ppm
120s

4系列H2S傳感器
50ppm
052-6000-000
4SM H2S-50
4系列
0.01ppm
25s

4系列HCL傳感器
10ppm
063-6000-000
4SM HCL-10
4系列
0.003ppm
140s

4系列CL2傳感器
5ppm
062-6000-000
4SM CL2-5
4系列
0.008ppm
45s

4系列SO2傳感器
20ppm
056-6000-000
4SM SO2-20
4系列
0.01ppm
60s
